中芯宁波BAW滤波器晶圆工艺平台实现量产

近日，中芯集成电路(宁波)有限公司(简称：中芯宁波)自主研发的体声波(BAW)谐振器工艺技术平台：SASFR®，已经支持多家设计公司实现射频前端中高频BAW滤波器量产，客户产品性能已达到国内最优、业界先进水平，可开始向高端手机供货，在中国大陆独树一帜，也在长期被国外厂商垄断的中高端BAW滤波器领域，实现了具有全自主知识产权的核心技术和规模制造突围。

SASFR®(Suspended Acoustic Separated Film Resonator，悬浮声学隔离薄膜谐振器)是中芯宁波全自主开发并拥有全套自主知识产权的一种悬臂式薄膜体声波谐振器工艺与器件技术，包含集成空腔的谐振器前道晶圆工艺平台以及后道晶圆级芯片封装与测试配套技术。与业界沿用多年的传统技术路线大相径庭，SASFR® 平台在薄膜工艺构架和谐振器件设计上，实现了真正意义上的自主创新突破，且其谐振器关键性能指标可与国际竞品比肩，个别性能甚至高于国际水平。

这一自主知识产权的BAW滤波器晶圆工艺平台，其核心MEMS谐振器能够实现射频信号的高性能筛选、降噪、滤波或谐振等多重功能。基于这一平台设计的0.8至6.0GHz射频滤波器产品，具有低插损、高隔离度、微型化、高功率、体积小等诸多优点，应用范围广泛，所支持产品设计和开发灵活性强，基本覆盖了5G通信所有领域，如手机、无线通信基站、智能电表，以及智能家电信息交互等应用场景。

SASFR®工艺技术和规模制造平台是中芯宁波的核心产品线之一。2019年启动射频产品线研发后，中芯宁波只用不到两年的时间，就通过了多家客户的产品认证并实现量产。

随着5G商用的启动，国内滤波器出货量呈现爆发式增长态势。业内分析机构预测，2022年全球滤波器市场规模将达到160亿美元，其中BAW滤波器占比约47%，市场规模约75亿美元。目前，国内中高频BAW滤波器市场仍然主要被Broadcom和Qorvo等国外厂商所垄断。

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