中芯国际进口的荷兰ASML光刻机顺利入厂

3月6日消息，作为国内最大最先进的晶圆代工厂，中芯国际SMIC在疫情疫情期间依然没有停产，同时还在扩大14nm等先进工艺产能。日前，羊城晚报报道称，中芯国际进口的荷兰ASML光刻机顺利入厂。据报道，这次购买光刻机的是中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司，昨天他们从荷兰进口的一台大型光刻机顺利通过出口加工区场站两道闸口进入厂区。据悉，这台机器主要用于企业复工复产后的生产线扩容。

中芯国际表示，坪山海关一系列服务措施，保障了设备第一时间进入厂区完成安装进入生产，生产线扩容后全年预计可为企业增加10%左右的营收。

报道没有提及中芯国际购买的光刻机的详情，不过肯定可以排除最新的EUV光刻机，现在进口的应该还是193nm波长的DUV系列光刻机。

虽然没有EUV技术，但ASML的沉浸式DUV光刻机依然可以制造28nm到7nm之间的各种芯片，中芯国际此前也表态下两代工艺N+1、N+2(相当于7nm LPE低功耗、7nm LPP高性能)也不会上EUV光刻机。

与EUV光刻机动辄1亿美元以上的售价相比，DUV光刻机要便宜很多，但也要3000-5000万美元，还要有数目不菲的安装服务费用，足以让很多小公司望而却步。

中芯国际没有公布扩产的工艺具体是什么，但99%可能是14nm工艺，这是2020年中芯国际重点中的重点，去年底产能不过1000片/月，今年3月将达到4K，7月达到9K，12月达到15K。

根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法，1000片/月的产能就差不多要1亿美元的投入，15K晶圆/月的产能意味着15亿美元的投资。

放在以前，这样的投资是不划算的，不过现在这两年情况不同了，中芯国际的14nm及未来的7nm工艺无论如何都是要上的。(编辑 叶辰)

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